ナノダイヤモンド種結晶
製品詳細
ナノダイヤモンド種結晶 — スラリー & 粉末
ダイヤモンドエピタキシャル成長における最初の重要原料
シリコンや炭化ケイ素などの非ダイヤモンド基板上にダイヤモンド薄膜を成長させる際、基板とダイヤモンドの格子構造には大きな違いがあるため、ダイヤモンドを直接エピタキシャル核生成させることはできません。そのため、まずナノダイヤモンド種結晶による表面シーディングが必要です。当社では、CVDダイヤモンド薄膜プロセスに不可欠な核生成原料として、ナノダイヤモンド種結晶スラリー（Slurry）と粉末（Powder）の2種類の製品形態を提供しています。
主要製品
主要製品のご紹介
ナノダイヤモンド種結晶スラリー（Slurry）
ナノダイヤモンド粒子を分散処理して調製した懸濁液です。粒子の凝集が少なく、分散安定性に優れているため、スピンコーティングや超音波アシストシーディングなどのプロセスにそのまま使用できます。生産ラインで基板表面へのシーディングを迅速に行えるため、前処理時間の短縮に貢献します。
ナノダイヤモンド種結晶粉末（Powder）
乾燥タイプのナノダイヤモンド粉体です。お客様ご自身のプロセス要件に応じて、溶液濃度や分散配合を調整できます。長期保存安定性と高い配合自由度を備えており、シーディングプロセスを自社で構築する能力を持つお客様に適しています。
主な特長とメリット
主な特長とメリット
多様な粒径から選択可能：基板の種類や薄膜成長の要件に応じて、各種ナノスケール粒径仕様を提供
高い分散安定性：スラリー製品には特殊な分散処理を施し、粒子の凝集を効果的に抑制して均一なシーディングを実現
高純度・低不純物：プロセス中の不純物含有量を厳格に管理し、後工程のダイヤモンド薄膜品質への影響を抑制
柔軟な形態選択：お客様の生産ライン設備やプロセス習慣に応じて、すぐに使用できるスラリーまたは自社調製用粉末を選択可能
用途
用途
DOSi（シリコン上ダイヤモンド）薄膜ダイヤモンドプロセスにおける基板前処理
DOSiC（炭化ケイ素上ダイヤモンド）薄膜ダイヤモンドプロセスにおける基板前処理
その他、非ダイヤモンド基板上でダイヤモンドのエピタキシャル成長を行う用途
プロセス能力
当社のプロセス能力
ナノダイヤモンド粒子の選別、分散配合の開発から、粒径分布および純度の検査まで、安定性と信頼性に優れたナノダイヤモンド種結晶の供給サービスを提供しています。お客様の基板タイプや後工程のCVDプロセス要件に応じて、スラリー濃度、粒径仕様、供給形態のカスタマイズにも対応可能です。
製品問い合わせ
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ナノダイヤモンド種結晶 |