基板 鑽石基板(Diamond Wafer)

鑽石基板Diamond Wafer
Diamond Wafer 應用: 高熱導-低熱阻-絕緣 電子元件絕佳的散熱器
單晶基板
〈基本規格〉
不純度: Nitrogen<10ppm
晶向: (100) 偏約0~ 3 degree
拋光面粗度: 約Ra<50nm, 精拋 Ra<10nm
尺寸: 1x1 to 10x10mm, 厚度 0.5-2mm
〈特別規格〉
晶向: (110) and (111)
角度: 0 to 5 degree
Low FWHM of X-ray, 低於40 or 50arcsec
〈高品質晶體〉
Low FWHM of X-ray, 低於40 or 50arcsec馬賽克基板
* 拼接 2 ~4片單晶片
* 每一單元片為 (100) 晶向
* 尺寸: <20x20mm, 厚度 0.5-2mm