基板

單晶基板

基本規格

不純度: Nitrogen<10ppm

晶向: (100) 偏約0~ 3 degree

拋光面粗度: 約Ra<50nm, 精拋 Ra<10nm

尺寸: 1x1 to 10x10mm, 厚度 0.5-2mm

 

特別規格

晶向: (110) and (111)

角度: 0 to 5 degree

Low FWHM of X-ray, 低於40 or 50arcsec

高品質晶體

Low FWHM of X-ray, 低於40 or 50arcsec

馬賽克基鈑

* 拼接 2 ~4片單晶片
* 每一單元片為 (100) 晶向
* 尺寸: <20x20mm, 厚度 0.5-2mm